半导体晶圆探针台控制板
14层板设计，纳米级定位控制和微弱信号测量，满足半导体测试需求
4,567 次阅读189 次下载2026-08-25
技术参数
层数
14层
板厚
2.0mm
最小线宽
0.1mm
最小线距
0.1mm
表面处理
ENIG
基材
High-Tg FR-4 (Tg>180°C)
应用领域
半导体设备
标签
半导体探针台纳米定位微弱信号
!设计挑战
晶圆探针台需要实现纳米级定位精度（<100nm），同时测量pA级微弱电流。需要解决振动隔离和电磁屏蔽问题。
💡解决方案
采用14层板设计，运动控制采用闭环伺服系统，编码器分辨率1nm。电流测量采用专用跨阻放大器，灵敏度1pA。增加主动隔振和电磁屏蔽罩。
测试结果
定位精度±50nm，电流测量精度±1pA。通过SEMATECH标准测试。
